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三星宣布推出EUV技術製程工藝,明年開始投產

荷蘭ASML公司製造的EUV光刻機是所有半導體廠商夢寐以求的搶手貨,但製造難度極高的EUV(極紫外)光刻機在據說今年內的年產量只有12台,也就是1個月只有1台能出售給半導體廠商。不過三星始終是三星,在半導體領域的影響力確實是大,今天三星就宣布推出採用EUV技術的11nm LPP和7nm LPP工藝,他們的半導體路線圖又向前邁進了一步。

對比早期的14nm LPP工藝,11nm LPP工藝性能提升15%,而晶元面積卻降低10%,除了在旗艦手機晶元上使用10nm FinFET工藝外,三星還打算將11nm工藝處理器使用在中高端手機,11nm工藝計劃在2018年上半天投產。三星還證實採用EUV光刻技術的7nm LPP工藝晶元正在開發當中,目標是在2018年下半年投產。

自2014年以來,三星已經生產了近20萬塊EUV光刻圓晶,在256MB的SRAM上實現了80%的良品率。三星將在3年內從14nm工藝逐步過渡到11nm,10nm,8nm和7nm。有關三星半導體路線圖最新的消息,包括11nm LPP和7nm EUV的開發,三星將在2017年9月15日的日本東京三星技術論壇中詳細講解,到時候小編我會給大家帶來第一手資料。



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