不過到了3nm,台積電正考慮赴美投資建廠,投資額高達5000億台幣,主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環評審核,至少需要5年時間,而且空氣質量、電力供應都是問題。
另外台灣對於大陸的工藝輸出也一直是N-1政策,即最高輸出第二新的工藝。如果台積電轉到美國投資,對於大陸方面肯定也會加強投資和輸出力度。
至於3nm工藝本身,由於還處於前期研究階段,台積電沒什麼可透露的,只說正在與設備廠商、材料供應商共同研究技術途徑,暫定2022年左右量產。
按照行業規劃,極紫外光刻到時候應該可以上馬了,450mm大晶圓則很難說,最近一直沒什麼進展。