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隨著10nm晶元逐步滲透進消費電子產品，新的製程探索也在加速。目前已公布的7nm路線圖中，GF和台積電的速度最快，三星事實落後。據韓媒報道，三星決定加快6nm的步伐，其中試產2019年初開啟，量產在2019年下半年開工。此舉旨在和台積電搶奪2019年高通和蘋果的手機晶元代工合同。Digitimes報道稱，台積電目前已經流片了13張7nm樣品晶元，2018年即可開始批量生產。荷蘭艾斯摩表示，EUV（極紫外）光刻機可用於7/6/5nm工藝，Intel、台積電、三星等都採購了相關設備。只是，目前唯一沒有披露10nm以下明確規劃的就是Intel了。