Zi 字媒體

10nm工藝節點即將大規模普及，同時這也意味著我們很快進入7nm階段，不過，7nm的技術挑戰已不可同日而語，其中的關鍵就是EUV（極紫外）光刻機。其中，荷蘭ASML（阿斯麥）在當今高端沉浸式光刻機中佔據80%的份額，是絕對的龍頭。昨天晚些時候，阿斯麥也公布了財報數據，Q1凈營收為19.4億歐元，毛利率47.6%，而它們所做的一切，不過是賣出數十台光刻機而已。其中主要包含三部分，分別是深紫外光（DUV）微影、全方位微影（Holistic Lithography）和極紫外光（EUV）微影，前者用於10nm量產和7nm的研發，迄今累計裝機60多台。而最高端的EUV光刻機，僅僅在Q1晚些時候出貨了第一台NXE：3400B，而收到的訂單已經累計21台，總價值23億歐元，單價超1億歐，媲美一架F35戰鬥機。這第一台的客戶如無意外應該就是Intel，而後者目前用的最多的還是前一代EUV系統NXE 3350B，即使這樣，全球也才部署了6套而已，供不應求。