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不過到了3nm，台積電正考慮赴美投資建廠，投資額高達5000億台幣，主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環評審核，至少需要5年時間，而且空氣質量、電力供應都是問題。另外台灣對於大陸的工藝輸出也一直是N-1政策，即最高輸出第二新的工藝。如果台積電轉到美國投資，對於大陸方面肯定也會加強投資和輸出力度。至於3nm工藝本身，由於還處於前期研究階段，台積電沒什麼可透露的，只說正在與設備廠商、材料供應商共同研究技術途徑，暫定2022年左右量產。按照行業規劃，極紫外光刻到時候應該可以上馬了，450mm大晶圓則很難說，最近一直沒什麼進展。