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本發明提供的旁熱式微感測器，通過感測器表面形成圖案化掩模金屬層，在完成結構釋放后構築疏水疏油層，利用剝離工藝實現疏水疏油層的圖案化。在上載操作中，利用感測器表面不同區域的不同特性，實現液態敏感材料在敏感電極區域內的自對準式上載。工欲善其事，必先利其器。在全球化的今天，專利已不僅僅是創新的一種保護手段，它已成為商業戰場中的利器。麥姆斯諮詢傾情打造MEMS、感測器以及物聯網領域的專利運營平台，整合全產業鏈知識產權資源，積極推動知識產權保護與有效利用。基於MEMS（微機電系統）技術和敏感材料構築技術而製造的加熱式微感測器由於具備優越的氣體敏感、功耗低、成本低廉等優點已經得到了廣泛而深入的研究，其應用已經進入了人類生產生活的多個領域，促進了產業的發展。目前市場應用最多的仍是陶瓷管式氣體感測器，這類產品體積大、功耗高、敏感材料上載技術難以自動化因而成品率較低，其製造成本高，限制了此類感測器的推廣與應用。隨著微納技術的不斷發展與進步，近十年來，基於MEMS的半導體感測器不斷出現，這類感測器多數使用金屬氧化物材料、多孔材料、金屬框架有機物等做為敏感材料，通過塗覆、旋塗、噴墨列印、顯微操作系統等手段將敏感材料上載於感測器的測試電極區域。微熱板感測器目前國內外微加熱式感測器的研究眾多，大都是懸膜、懸島型結構，敏感材料的上載大量依賴於人工塗覆、浸漬提拉法、噴墨列印以及顯微操作系統等等方式。其中人工塗覆大多為陶瓷管式的感測器，器件體積大，對人工操作的技術要求高、均一性較差，並且需要花費大量的時間培訓熟練的技術工進行塗覆。對於浸漬提拉法，晶元浸沒于敏感材料溶液中，整個表面都會沉積敏感材料，一方面會造成敏感材料的浪費，而且新材料的研發通常形成的量較少，難以滿足需求。另一方面具備導電性材料覆蓋在電極之間會造成不同電極間的漏電，帶來了不小的測試誤差。【推薦發明專利】《旁熱式微感測器及其製造方法》【發明內容】本發明提供的旁熱式微感測器，通過感測器表面形成圖案化掩模金屬層，在完成結構釋放后構築疏水疏油層，利用剝離工藝實現疏水疏油層的圖案化。在上載操作中，利用感測器表面不同區域的不同特性，實現液態敏感材料在敏感電極區域內的自對準式上載。本發明採用旁熱式結構，減少了敏感材料所在區域絕緣層漏電對於敏感測試信號造成的干擾。該旁熱式微感測器的敏感材料上載可以在懸空的微結構表面進行，不損傷微結構，工藝兼容性強，金屬保護層去除容易。上載過程樣品需求量小，操作簡單非敏感區材料易於去除。旁熱式微感測器俯視圖旁熱式微感測器結構示意圖本發明具有工藝兼容性好、實用性強、製造工藝簡單、成本低，適合在可動或懸空微結構表面材料上載等優勢。相比於現有技術，本發明技術方案解決了現有技術難以在懸空或可動結構表面指定微小區域進行材料附載的困難，同時旁熱式結構避免了常見直熱式結構由於絕緣層缺陷導致的漏電。【相關專利】《薄膜型微熱導檢測器》《一種平面型半導體熱電晶元及製備方法》《具有圓弧形凹槽加熱膜區的三維微型加熱器及製作方法》《一種具有網孔結構加熱膜的低功耗微型加熱器及製作方法》【相關報告】《室內空氣質量監測市場-2016版》《氣體感測器技術和市場》《CCS揮發性有機化合物MEMS氣體感測器：CCS801》《AMS VOC MEMS氣體感測器：AS-MLV-P2》《微型氣體感測器專利分析報告》專利購買或技術合作請聯繫：麥姆斯諮詢 殷飛聯繫電話：18912617215電子郵箱：yinfei@memsconsulting.com若需要更多可交易專利，敬請訪問：www.mems.me/mems/patent/閱讀更多MEMS行業資訊，請關註：微信公眾號：MEMS新浪微博：麥姆斯諮詢微迷：http://www.MEMS.me