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隱形飛機主要是通過外殼採用吸波材料或吸波塗層來吸收雷達波達到隱身目的的，然而高功率微波武器具有專門對付吸波材料的特性，成為隱形飛機的「剋星」，從而受到各國普遍的重視。高功率微波武器又稱為射頻武器。微波是一種高頻電磁波，能在真空或空氣中以光速直線傳播，易被天線彙集成方向性極強的波束。微波武器就是利用高功率微波束來毀傷敵方的兵器、設備和人員，達到作戰效果。微波武器主要由高功率微波發射機、大型高增益天線和瞄準、跟蹤、控制系統構成。其中微波振蕩器是這種武器的「心臟」，由它把電子束動能轉換為電磁能。發射時，超高功率發射機輸出的能量匯聚在窄波束內，將能量高度集中后以極大的強度射向目標。當能量密度達到20-80瓦/平方厘米時，作戰人員只要被照射1秒鐘就會死亡，當能量密度增加到10—100瓦/平方厘米時，可燒毀電子系統中任何工作波段的電子元器件。微波武器輻射出的高能波束，最容易被隱形飛機的吸波材料所吸收，當吸收微波能量過多時，輕則使隱形飛機瞬間加熱失去控制，重則被即刻燒毀、熔化。因此微波武器已成為對付智能和隱形武器的新一代進攻武器。