尼康起訴ASML侵權，曾經光刻巨頭的最後掙扎？

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尼康今日宣布，已對荷蘭半導體行業光刻系統供應商阿斯麥（ASML）和德國光學及光電子學設備廠商卡爾蔡司（Carl Zeiss）提起訴訟，指控這兩家公司未經授權而使用其光刻技術。尼康稱，已在荷蘭、德國和日本對阿斯麥和卡爾蔡司提起訴訟。卡爾蔡司是阿斯麥的光學設備供應商。尼康在一份聲明中稱：「阿斯麥和卡爾蔡司在未經尼康許可的前提下，在阿斯麥的光刻系統中使用尼康的專利技術。」

當前，光刻系統被廣泛應用於製造半導體，而阿斯麥又主導著半導體光刻機市場。評級機構「惠譽評級」（Fitch Ratings）今年1月發布的調研報告顯示，在高端光刻機市場，阿斯麥的份額高達90%。

尼康在訴訟文件中稱，要求阿斯麥和卡爾蔡司對未授權使用專利技術而做出賠償。

對此，阿斯麥總裁兼CEO彼得·溫尼克（Peter Wennink）稱：「尼康的訴訟毫無依據，沒有必要，為半導體市場製造了不確定性。」溫尼克還稱，阿斯麥曾多次試圖與尼康談判，希望能對當前的一份交叉授權協議進行延期。

尼康和ASML的現狀對比

尼康現在之所以還算一家半導體設備供應商，那是因為尼康的屏幕面板光刻機業務還在正常運營（儘管面板光刻機是個小眾市場，技術要求比晶元光刻機低很多，微米級就夠了）。

以前尼康也賣過一些光刻機給intel，可是現在先進位程設備採購上，intel看不上尼康的光刻機，想扶一把也沒用。現在尼康精機部門就是靠著面板光刻機撐著，毛利潤時而有，時而無，虧損是常事，某個季度一旦扭虧，尼康精機就會顯示為業績增長百分之好幾百。（從虧損1億到扭虧賺了1億，請問業績增長多少？）

尼康最新的Ar-F immersion 630賣價還不到ASML Ar-F immersion 1980D平均售價的一半，更別說和ASML劃時代的EUV 光刻機比了。ASML 第12台EUV光刻機發貨中。（EUV才是人類文明 半導體技術延續 的基石）

2016年Q2 Q3 ASML ship出去的兩台 EUV NXE 3350B 單價已經超過1億美元， Ar-F immersion價格 平均價位是4000萬歐元~5500萬歐元左右，以上是算進了refurbished的machine，如果不算，應該更高，下面仔細分析下2015年和2016年的ASML 季度各個銷售機型數量和銷售額（不包括 solution 的收入）在ASML的2015年Q4季度報中，ArF Immersion 共銷售11台，銷售額881million 歐元 乘以72%（不包括solution收入），算下來平均每台售價達到5800萬歐元，約合7300萬美元。

如下報表，ASML的Ar-F immersion 在Q1銷售15台，銷售額856million euro乘以 79%（不包括solution部分）：

每台價格 約4200萬歐元。

其中ASML 在 2016年Q2季度銷往美國晶元廠的佔21%，銷往韓國新品廠佔20%，銷往台灣晶元廠的佔28%。

基本就是ASML三大優先客戶： intel、三星、台積電 三巨頭爭霸的格局。值得注意的是2016年Q1的ASML銷售額中，有35%銷往，除了三星在西安的超大型3D 10納米級NAND晶元廠擴產外 和intel在大連的晶元廠升級外，本土廠商也買到了ASML的光刻機（不過由於北約的瓦森納協議限制，只能買到中低端ASML光刻機）. 這是外交的一大突破。

下面我們來看看尼康的財務報表是多麼得慘淡，先上一封 尼康各個季度報表中 最靚麗的報表：

可以看出尼康的晶元光刻機慘不忍睹，算上尼康的面板光刻機（至少比佳能強多了），一共33台，平均單價只有14億日元多（其中包含了solution的銷售額，扣除solution銷售額尼康的單機價格更低），單價只相當於ASML價格的三分之一。

下面來個更慘的尼康季度財報：

這個季報裡面，尼康精機銷售額更少了才354億日元，即使尼康精機有面板光刻機撐著，斷斷續續的虧損也還是常事，12台 5G/6G 的面板光刻機總算填補了財報窟窿，勉強有毛毛雨般的毛利潤。（才33億日元）

可以斷言。如今ASML的晶元光刻機已經把日本的晶元光刻機廠商尼康和佳能都踩爛了，晶元光刻機進入EUV時代，ASML從此奠定壟斷地位，佳能直接退出晶元光刻機領域了，僅保留低端半導體的i-line 和Kr-F 光刻機。尼康還在垂死掙扎。半導體先進位程壟斷三巨頭（台積電，三星，intel）就是ASML的股東，擁有ASML的EUV光刻機的優先供貨權。

據一位曾在半導體晶圓廠工作過的人員表示， 從其進入半導體行業起，尼康的晶元光刻機就在逐漸衰落，而荷蘭ASML則一步步佔據市場統治地位，尼康光刻機唯一剩下的優勢就是同類機型價格不到ASML的一半。但英特爾在新製程中停止採購尼康的光刻機給了尼康致命一擊。據了解，所有主流半導體產線中只有少數低階老機齡的光刻機還是尼康或者佳能，其他基本都是ASML的天下。

據這位行業人士透露， Intel新CEO上台後，不再延續與尼康的620D合同，尼康推出了630D后，intel也無動於衷，尼康投標失敗。尼康光刻機的小問題不少，trace 判定能力不行，經常出錯。troubleshooting時非要有特定經驗的人才能憑第六感覺判斷問題。而且不能做到真正意義上的scan 和 etching 同步，這與ASML的dual scan 差太遠，還有一系列小問題時而在不同的尼康機型上發生，操作系統上設計的架構有缺陷，這些雖然是原因之一，但都不是尼康的致命問題，最致命的就是尼康620D在黃光之後做不下去。overlay實際效果和尼康官方的specification 差了一大截。這個是process engineer 們不能容忍的，先進位程本來就是燒錢的，成本不在邊際考慮因素中，鑒於現狀，technical support 團隊是不能容忍採購團隊為了省成本而去採購尼康光刻機。

在其工作的FAB，兩台尼康620D都是這個情況，這還是他們尼康銷售人員低價打進來的兩台設備，晶圓廠自然不滿意，也就沒有再嘗試買尼康的ArF 浸潤光刻機，直到現在，高精度 etching 和scan 環節仍然都是ASML光刻機。而在低階的KrF 光刻機上採購上偶爾會選擇佳能，因為超級便宜，並且這個DRAM的第一步etching 環節根本沒有太高技術要求。

有人則認為日本人的工匠精神拖累了尼康。

尼康就是被工匠精神給害的，對你沒有看錯，就是被工匠精神害了，工匠精神就是被媒體炒得情懷滿滿、逼格高，實則是日本失落20年的罪魁禍首。日本除了少數小眾領域可以吃老本，其他領域都明顯衰敗。被情懷媒體炒作的所謂 「工匠精神」恰恰是日本殭屍經濟的病因之一。

工匠精神會形成企業的自我路線束縛，與日本社會分工固化 相輔相成，互為副產物。日本的社會分工固化已經到了令人髮指的地步。企業的工匠道德綁架 無形中把 日本產業鏈的路線逼到了非主流。（因為主流技術路線一直都在被 美利堅 和 以色列顛覆，不應變就會淪為非主流）當技術路線和企業戰略走錯方向，技術聯盟站錯隊時，後果可想而知，再多努力都是徒勞，再多的精雕細琢都是浪費資源、徒增債務，有些日企甚至是撞了南牆也不回頭。某些日本的失敗技術路線如等離子體面板、交叉射頻、藍光等撞了南牆后想回頭也沒機會了，太晚了。

工匠精神是「果」，那麼「因」就是如今這個固化的日本高度成熟封建社會，子承父業，孫承祖業，漁民的後代永遠是漁民，刀匠的後代永遠是刀匠，政客的後代永遠是政客，和尚的後代永遠是和尚（日本特色，滑稽），紋身師的後代永遠是紋身師。。。。。至少也是必須有一個長子繼承家業。甚至三井三菱財團的一些老企業中出現了類似東北國企中的家族三代同社現象，這個因果關係要是在歷史中溯流而上推導，只能說沒有科舉制度的古代日本史把日本塑造成沒有階級流動的社會（明治維新這種特殊歷史時期除外），武士的後代永遠是武士，匠人的後代永遠是匠人，漁民的後代永遠是漁民，獵人的後代永遠是獵人。。。。。，總之資源配置毫無流動性。

在工藝品時代也許這套社會體系能給日本帶來他們自己都想象不到的輝煌，但是從互聯網時代開始，以美國、以色列推動的無序產業變革逐漸打碎這一切，彷彿歷史底蘊的積累在蠻荒者面前顯得弱不禁風。事情不僅僅是工匠社會的日本無緣互聯網技術潮流那麼簡單，互聯網革命意味著一系列經濟模式革命、商業策略創新和勞動分工流轉，新興商業概念如專利流氓律師團、產業鏈一波流、山寨推塔流、技術標準合縱連橫、訂單卡位等等層出不窮。不隨機應變則必死無疑。

更重要的是互聯網使得全球的開放經濟體的idea更容易傳播共享，思想顛覆更頻繁，產業變革會以分散式的方式加速進行。工匠精神不僅難以受益，而且被工匠精神固化的經濟體會受到更高頻率的變革衝擊。

而日本社會的補救方法反而是進一步加強對這種固化體制的保護，簡直是逆潮流，「大而不能倒」已經是讓很多國家的經濟界煩惱的一件事了，日本不僅有「大而不能倒」，還有「老而不能倒」，日本社會的百年老店怎麼能倒？即使是三井三菱財團以外沒爹沒娘的老字號或者百年小作坊，就算負債超過200%還是得硬撐，申請破產難於上青天，且上游供應商的工匠圈和下游採購商的工匠圈都不希望失去一個高度匹配的熟悉事物。一但某個產業衰落，整條泛產業鏈的社會資源利用效率就越發低下；而且產業上下游互相拖後腿，匠人精神往往造成產品線在上游對本土特定供應商過度依賴，在下游對特定採購商過度依賴，說的直白點，某些工匠換個產品設備線或商業規則就不會做了。

例如：荷蘭晶元光刻機霸主ASML公司打殘了日本尼康佳能的晶元光刻機，從此ASML壟斷了全球光刻機中高端市場，結果卻導致整個日本的半導體產業都潰敗了，破壞範圍超過華爾街的最初預期，事後總結的原因之一就是匠人精神導致日本產業供應鏈固化，一個堡壘失守，整個王國淪陷。

下圖是荷蘭ASML公司顛覆時代的EUV光刻機NXE 3350B示意圖，單價超過6億人民幣，現貨還要等，一場變革讓日本無數的工匠們的心血化為烏有，且隨時擔心丟飯碗。

如今的半導體三巨頭（intel，三星，台積電）是荷蘭ASML的股東，擁有優先提貨權。所以有人說ASML的霸主地位結束了日本電子時代，才成就了今天的半導體三巨頭。但也有人反過來思考，認為正是半導體三巨頭（intel，三星，台積電）的工程師當初不安於現狀才成就了ASML的光刻機霸主地位。20年前的intel，三星，台積電的工程師們也許只能和尼康佳能的光刻機打交道，被迫接受著日本工匠式的教條灌輸和培訓，但他們一直想著換花樣。光刻機從immersion革新到dual scan 這種異想天開的方案，當時面臨很多風險，背後的市場需求支撐就是intel、台積電、三星工程師的各種天馬行空般嘗試，擾亂利益關聯產業鏈的代價是必須的。被日本工匠們鄙視為不踏實的浮躁韓國工程師，美國工程師，台灣工程師和ASML那些異想天開的天才們一同埋葬了日本的半導體產業。

不知道尼康的步步落後是日本半導體產業的發展策略，還是跟不上時勢，有一點可以肯定的是，ASML已經牢牢把握了光刻機，尤其是下一代7nm光刻的入口，屆時尼康和佳能將無任何挑戰其地位的武器。和日本很多其他半導體產業一樣，他們又失去了一個曾經引以為傲的資本。

今天是《半導體行業觀察》為您分享的第1259期內容，歡迎關注。

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