成都高新格羅方德項目加快建設 預計明年3月完工

成都高新快報：4月11日，記者從成都高新區獲悉，位於成都高新區西部園區的格羅方德晶圓代工廠已完成100%土石方工程，50%以上樁基工程，將於明年3月前完成項目建設。

據悉，這家代號為「Fab11」的晶圓代工廠，是格羅方德在全球的第11家晶圓代工廠，也是西南地區首條12英寸晶圓生產線，建成后將成為世界上標準最高、體量最大的晶圓代工廠之一。

Fab11建設方成都建工集團的項目負責人袁明介紹，相比常規電子廠房18個月的設計、建設周期，Fab11項目將在一年內完成建設，無論從建設規模、建設標準、智能程度等來說，都遠高於其他一般廠房。為高效高質推進項目建設，相關單位實行「5+2」「白+黑」的施工方式全力推進，「到了建設高峰期，預計會有六七千人同時在現場施工」。

「格羅方德12英寸晶圓成都製造基地項目，對四川省、成都市電子信息產業發展具有重要意義，從建設方面來說，也是一項十分重大的挑戰。」袁明說，成都建工集團將保證在推進施工進度的同時，高質量打造一座世界一流的智能自動化工廠，「這是一個具有里程碑意義的建設項目，能夠參與這項工程的每個人都有一種榮譽感」。

最新進度：主生產廠房完成土方開挖樁基施工完成50%以上

8台打樁機一字排開、齊頭並進；十餘台挖掘機保持隊形，高效挖運……日前，記者來到項目現場時，展現在眼前的就是這樣一幅熱火朝天的建設場景。自3月初項目實質施工以來，20萬平方米的主生產廠房範圍內，土石方開挖已完成100%，樁基施工完成50%以上。

按照建設計劃，Fab11項目將在明年3月前全面完成，達到設備調試、生產的基本條件。常規電子廠房從設計到施工完成，需要約18個月時間，規模更大、施工要求更高的Fab11項目，須在12個月完成建設，對建設方來說是一場不折不扣的「硬仗」。

如何打好這場「硬仗」？袁明介紹，現場將通過推行「5+2」「白+黑」的施工方式，增配管理人員及機具設備，加倍資金投入等方式以確保明年3月完成建設。本項目僅管理團隊就有近400人，「到了建設高峰期，預計會有六七千人同時在現場施工。」

作為格羅方德在最大和最先進的晶圓製造基地，對關鍵部位建築材料和專用設備的技術指標要求都非常高，很多建材、設備須要從全球範圍內精挑細選「量身定製」。袁明介紹，「計劃在5月完成系統設備的招標採購。」

規模領先世界：佔地近76萬平方米超世界同類型代工廠

今年2月10日，格羅方德12英寸晶圓成都製造基地項目宣布開工。格羅方德是全球第二大晶圓代工廠，此次落戶成都高新區的格羅方德12英寸晶圓生產基地，總佔地近76萬平方米，相當於1800個標準籃球場的大小。

據悉，項目一期建設主流CMOS工藝12英寸晶圓生產線，二期建設格羅方德最新的22FDX®22nm FD-SOI工藝12英寸晶圓生產線，總產量將達到每月8.5萬片晶圓片。除了主生產廠房外，項目還包括中央動力廠房、廠務設施罐區、辦公用房等區域。

「這麼大規模的晶圓代工廠，從世界範圍來看都是十分少見的。」袁明說，此前，建設方前往新加坡等地的晶圓代工廠進行過考察，從建設體量規模來說，格羅方德成都項目都遠超上述晶圓代工廠。

據了解，Fab11項目包括至少3類重點建築：囊括百級潔凈車間的FAB廠房類建築；製備、儲存、處理有毒化學氣體及液體的氣體站及危險品庫類建築；進程高低壓變配及輸送管理的變電站及動力廠房類建築。

據悉，以上3類建築均有各自的專業標準和要求，部分標準遠超國標，直接沿用國際標準。

技術難度高：6.5萬平米空間的潔凈度達100級 比手術室高百倍

除規模大外，項目還對建設技術有相當高的要求。晶圓是最常用的半導體材料，晶圓越大，同一圓片上可生產的IC晶元就越多，對材料技術和生產技術的要求也更高。22FDX®22nm FD-SOI工藝是格羅方德最為先進的技術之一，對廠房也有更高的要求。

作為集成電路乃至晶元級的製造工廠，有別於產業鏈下端的封裝、組配工廠，要求的配套設施更為全面專業。Fab11廠區按BOD（基礎設計）規劃，共有16類建築與構築物，包括生產調度及研發廠房、晶元廠房、動力站、化學品供應站和地下雨水蓄水池等。其中動力站、危險品庫、大宗氣體站等建築都是其他傳統工業廠房中罕見的。

「我們不僅要為格羅方德生產線建設一個生產空間，更要建設一個完整的生產系統。就好像一個人，除了軀幹之外還要有血管、神經系統等。」成都建工集團項目經營經理王霞表示，Fab11成都工廠有大量常規工業廠房未涉及的製程工藝和標準考量，包括離子注入、光刻膠、封裝、處理器等17個工藝環節。

與常規的廠房項目相比，該項目最大的難點就在於複雜的生產系統，在幾十萬平方米的空間內，囊括了動力系統、特殊氣體站、超純水系統等複雜體系，並要在建設中同步完成。項目採用世界一流的自動化技術，建設自動化物料運送系統、廠務管理系統、數據分析系統等，打造智能電子廠房，實現全自動化的晶圓製造。

值得關注的是，晶圓生產必須在潔凈環境下進行，Fab11項目將打造6.5萬平方米的晶圓生產潔凈室，潔凈等級為100級。王霞向記者介紹，一般的醫院手術室是10000級，開胸手術的手術室是1000級，腦外科、心臟外科用的手術室能夠達到100級。手術室的面積只有幾十平方米，晶圓廠房則要保證6.5萬平方米的空間都保持100的潔凈度，局部房間達到1級標準。

1級標準是什麼概念呢？即每立方英尺的空氣中0.5微米或稍大些的微塵數量不超過1個，而人的頭髮絲直徑為80微米，即在每立方英尺的空氣中相當於1/160根頭髮絲粗細的微塵數量不超過1個。

「從工廠規模到技術標準，Fab11工廠都堪稱世界一流的晶圓代工，我們將以專業的態度，發揮創新精神，高標準高效率完成項目建設。」袁明表示從項目各項手續諮詢到審批，都得到了成都高新區相關部門的大力支持，「成都高新區高效、專業的辦事作風深深觸動了我們。我們也會秉承這種高效、專業的精神，加快推進項目建設」。

對格羅方德項目的支持，成都高新區並不止步於提高審批效率。為了全力保障格羅方德成都項目推進，今年3月，成都高新區成立了格羅方德項目指揮部，下設辦公室、建設組、商務組、保障組，從項目建設推進、相關手續完善、環保審批督促等方面，明確分工任務、完善督查機制，為項目推進提供更專業、細緻、全面的保障。

成都高新區相關負責人表示，格羅方德成都項目契合《國家集成電路產業發展推進綱要》，填補了西南地區12英寸先進工藝晶圓生產項目的空白，成都高新區將不遺餘力地推進Fab11建設，助推成都打造全球知名的集成電路產業基地。（編輯：郭霞）