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成都高新格羅方德項目加快建設 預計明年3月完工

成都高新格羅方德項目加快建設 預計明年3月完工

成都高新快報:4月11日,記者從成都高新區獲悉,位於成都高新區西部園區的格羅方德晶圓代工廠已完成100%土石方工程,50%以上樁基工程,將於明年3月前完成項目建設。

據悉,這家代號為「Fab11」的晶圓代工廠,是格羅方德在全球的第11家晶圓代工廠,也是西南地區首條12英寸晶圓生產線,建成后將成為世界上標準最高、體量最大的晶圓代工廠之一。

Fab11建設方成都建工集團的項目負責人袁明介紹,相比常規電子廠房18個月的設計、建設周期,Fab11項目將在一年內完成建設,無論從建設規模、建設標準、智能程度等來說,都遠高於其他一般廠房。為高效高質推進項目建設,相關單位實行「5+2」「白+黑」的施工方式全力推進,「到了建設高峰期,預計會有六七千人同時在現場施工」。

「格羅方德12英寸晶圓成都製造基地項目,對四川省、成都市電子信息產業發展具有重要意義,從建設方面來說,也是一項十分重大的挑戰。」袁明說,成都建工集團將保證在推進施工進度的同時,高質量打造一座世界一流的智能自動化工廠,「這是一個具有里程碑意義的建設項目,能夠參與這項工程的每個人都有一種榮譽感」。

最新進度:主生產廠房完成土方開挖樁基施工完成50%以上

8台打樁機一字排開、齊頭並進;十餘台挖掘機保持隊形,高效挖運……日前,記者來到項目現場時,展現在眼前的就是這樣一幅熱火朝天的建設場景。自3月初項目實質施工以來,20萬平方米的主生產廠房範圍內,土石方開挖已完成100%,樁基施工完成50%以上。

按照建設計劃,Fab11項目將在明年3月前全面完成,達到設備調試、生產的基本條件。常規電子廠房從設計到施工完成,需要約18個月時間,規模更大、施工要求更高的Fab11項目,須在12個月完成建設,對建設方來說是一場不折不扣的「硬仗」。

如何打好這場「硬仗」?袁明介紹,現場將通過推行「5+2」「白+黑」的施工方式,增配管理人員及機具設備,加倍資金投入等方式以確保明年3月完成建設。本項目僅管理團隊就有近400人,「到了建設高峰期,預計會有六七千人同時在現場施工。」

作為格羅方德在最大和最先進的晶圓製造基地,對關鍵部位建築材料和專用設備的技術指標要求都非常高,很多建材、設備須要從全球範圍內精挑細選「量身定製」。袁明介紹,「計劃在5月完成系統設備的招標採購。」

規模領先世界:佔地近76萬平方米超世界同類型代工廠

今年2月10日,格羅方德12英寸晶圓成都製造基地項目宣布開工。格羅方德是全球第二大晶圓代工廠,此次落戶成都高新區的格羅方德12英寸晶圓生產基地,總佔地近76萬平方米,相當於1800個標準籃球場的大小。

據悉,項目一期建設主流CMOS工藝12英寸晶圓生產線,二期建設格羅方德最新的22FDX®22nm FD-SOI工藝12英寸晶圓生產線,總產量將達到每月8.5萬片晶圓片。除了主生產廠房外,項目還包括中央動力廠房、廠務設施罐區、辦公用房等區域。

「這麼大規模的晶圓代工廠,從世界範圍來看都是十分少見的。」袁明說,此前,建設方前往新加坡等地的晶圓代工廠進行過考察,從建設體量規模來說,格羅方德成都項目都遠超上述晶圓代工廠。

據了解,Fab11項目包括至少3類重點建築:囊括百級潔凈車間的FAB廠房類建築;製備、儲存、處理有毒化學氣體及液體的氣體站及危險品庫類建築;進程高低壓變配及輸送管理的變電站及動力廠房類建築。

據悉,以上3類建築均有各自的專業標準和要求,部分標準遠超國標,直接沿用國際標準。

技術難度高:6.5萬平米空間的潔凈度達100級 比手術室高百倍

除規模大外,項目還對建設技術有相當高的要求。晶圓是最常用的半導體材料,晶圓越大,同一圓片上可生產的IC晶元就越多,對材料技術和生產技術的要求也更高。22FDX®22nm FD-SOI工藝是格羅方德最為先進的技術之一,對廠房也有更高的要求。

作為集成電路乃至晶元級的製造工廠,有別於產業鏈下端的封裝、組配工廠,要求的配套設施更為全面專業。Fab11廠區按BOD(基礎設計)規劃,共有16類建築與構築物,包括生產調度及研發廠房、晶元廠房、動力站、化學品供應站和地下雨水蓄水池等。其中動力站、危險品庫、大宗氣體站等建築都是其他傳統工業廠房中罕見的。

「我們不僅要為格羅方德生產線建設一個生產空間,更要建設一個完整的生產系統。就好像一個人,除了軀幹之外還要有血管、神經系統等。」成都建工集團項目經營經理王霞表示,Fab11成都工廠有大量常規工業廠房未涉及的製程工藝和標準考量,包括離子注入、光刻膠、封裝、處理器等17個工藝環節。

與常規的廠房項目相比,該項目最大的難點就在於複雜的生產系統,在幾十萬平方米的空間內,囊括了動力系統、特殊氣體站、超純水系統等複雜體系,並要在建設中同步完成。項目採用世界一流的自動化技術,建設自動化物料運送系統、廠務管理系統、數據分析系統等,打造智能電子廠房,實現全自動化的晶圓製造。

值得關注的是,晶圓生產必須在潔凈環境下進行,Fab11項目將打造6.5萬平方米的晶圓生產潔凈室,潔凈等級為100級。王霞向記者介紹,一般的醫院手術室是10000級,開胸手術的手術室是1000級,腦外科、心臟外科用的手術室能夠達到100級。手術室的面積只有幾十平方米,晶圓廠房則要保證6.5萬平方米的空間都保持100的潔凈度,局部房間達到1級標準。

1級標準是什麼概念呢?即每立方英尺的空氣中0.5微米或稍大些的微塵數量不超過1個,而人的頭髮絲直徑為80微米,即在每立方英尺的空氣中相當於1/160根頭髮絲粗細的微塵數量不超過1個。

「從工廠規模到技術標準,Fab11工廠都堪稱世界一流的晶圓代工,我們將以專業的態度,發揮創新精神,高標準高效率完成項目建設。」袁明表示從項目各項手續諮詢到審批,都得到了成都高新區相關部門的大力支持,「成都高新區高效、專業的辦事作風深深觸動了我們。我們也會秉承這種高效、專業的精神,加快推進項目建設」。

對格羅方德項目的支持,成都高新區並不止步於提高審批效率。為了全力保障格羅方德成都項目推進,今年3月,成都高新區成立了格羅方德項目指揮部,下設辦公室、建設組、商務組、保障組,從項目建設推進、相關手續完善、環保審批督促等方面,明確分工任務、完善督查機制,為項目推進提供更專業、細緻、全面的保障。

成都高新區相關負責人表示,格羅方德成都項目契合《國家集成電路產業發展推進綱要》,填補了西南地區12英寸先進工藝晶圓生產項目的空白,成都高新區將不遺餘力地推進Fab11建設,助推成都打造全球知名的集成電路產業基地。(編輯:郭霞)

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