無塵室簡單介紹-什麼是無塵室?

無塵室是指可以將環境因素控制在規定數值內的空間，稱之為無塵室。室內環境因素包括 空氣中：微生物、微塵粒、氣體分子、溫度、濕度、氣流流型、風速、壓差、照度、噪音、微振動、靜電、風量、電磁波等無塵室是指將一定空間範圍內之空氣中的 微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特 別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室按用途可分為兩大類：

（1）工業無塵室?以無生命微粒的控制為對象。以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用於精密機 械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光碟、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬碟、電 腦磁頭生產等多行業。

（2）生物無塵室?以有生命微粒的控制為對象[1 ]。1999年國際標準化技術協會公告發行ISO/TC209國際通用標準，將無塵室分成9個等級，級別分類見表1。採用SI制單位，1k級即英制中的 1000級，室內環境中1 ft3、0.5ìm的微塵顆粒不超過1000顆。

主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。無塵室簡單介紹-無塵室凈化風淋室生產廠家又可分為：

A、一般生物無塵室：主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處 理的工業無塵室。例：製藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。

B、生物學安全無塵室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗製備）。

表1潔凈級別

無塵室最主要之作用在於控制產品（如硅晶元等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間我們稱之為無 塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控制 在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生 非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在晶元級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於 A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高晶元生產上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

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